荷兰光刻机厂商ASML参展进博会：支持半导体行业开放与协作
记者 | 彭新
全民芯片热潮后，经过一年以来持续不断地讨论，位于进博会技术装备展区（3H馆3C6-002展位）的ASML展台自然备受关注。
本次进博会，ASML向观众展示了其整体光刻解决方案。ASML全球副总裁、中国区总裁沈波称，ASML此次参展，就是为了表达公司立场，即对开放合作、携手创新的支持。
ASML向界面新闻介绍，其在本届进博会上展示的光刻解决方案，包括先进控制能力的光刻机台，计算光刻和测量，通过建模、仿真、分析等技术，让边缘定位精度不断提高，使成像达到最佳效果。ASML的整体光刻解决方案能够提高产品良率和生产效率，不但能够帮助行业客户提升芯片的价值，同时也可以降低生产成本, 实现更广泛的应用，不断地推进摩尔定律成为现实。
总部位于荷兰的ASML是全球芯片制造设备领导厂商，它不是一家设计或生产芯片的半导体公司，但却掌握了芯片制造最核心的“光刻”技术环节。无论是逻辑芯片供应商，或是存储芯片供应商，都要用到ASML的光刻机系统。
制造芯片主要依赖光刻机，市场主流的光刻机供货商由荷兰ASML、日本尼康和佳能“三分天下”，但最先进的极紫外光源（EUV）光刻机技术由ASML独家生产，这种设备主要用于生产7纳米及更先进制程的芯片。
先进制程以外，光刻技术在成熟制程工艺领域也有广阔的多样化应用。ASML的DUV光刻设备，支持成熟制程工艺，开发包括物联网芯片、车载芯片、电源管理芯片、功率器件芯片、微传感器芯片等。
值得注意的是，10月14日，ASML首席财务官Roger Dassen在发布三季报时确认，向中国客户发货DUV光刻机无需出口许可。“一般而言，从荷兰向这些客户运送DUV光刻机系统不需要向美国申请出口许可。而涉及直接从美国运往这些客户的系统或者零件，则需要获得出口许可”。
不过，作为半导体产业链的一环，ASML的光刻机也依赖半导体产业全球合作生产。沈波曾向界面新闻表示，其光刻机超过90%的零件面向全球采购，整合了全世界最优质的零部件。
目前，中国半导体产业的发展处于一个非常重要的阶段，光刻机供应至关重要。沈波称，中国大陆的芯片市场在不断扩展，芯片制造行业在中国正进入快速发展的新阶段。
资料显示，ASML与中国结缘，始于31年前向中国提供第一台光刻机。2000年，ASML在天津正式成立了分公司。 目前，ASML在全球16个国家的60个城市设有办公室，员工达26200人；在中国设有12个办公室，11个仓储物流中心，2处开发中心，1个培训中心， 700多台装机，拥有1000多名员工。
进入中国市场以来，ASML称一直提供全面的技术和能力来满足中国客户的需求，是中国的半导体行业的战略合作伙伴。在遵守法律法规的同时，ASML全力支持客户和中国集成电路行业的发展。
据悉，ASML在中国大陆地区现已安装700台光刻机，今年第二、三季度发往大陆的光刻机台数超过全球总数的20%。
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